Nano Teknolojinin tarihi öyle çok eski değildir.
Keza, kendisi bile, henüz çok yeni bir teknolojidir ve bilimin az bir alanında kullanılmaktadır.Şuan pek az ülke, devlet, bu derin ve oldukça etkili teknolojiyi, araştırıp geliştirebilmektedir.
Pekçok bilimsel litaratürde, Nano Teknolojinin tarihini, Amerikalı ünlü fizikçi Richard Feynman'ın 1959 yılında, aygıtların moleküler boyutlarda incelenebileceği ve maddelerin bu boyutlarda çok daha efektif olarak üretilebileceğini konu alan o ünlü "Aşağıda daha pek çok yer var" adlı konuşmasında başlatır.Feynman'ın konuşmasının orjinali "Ther is Plenty of Room at the Bottom" dır.
Feynman bu konuşmasında, minyatürize edilmiş araçlar ile, nano yapıların öçülüp, biçilebileceği ve yeni amaçlar doğrultusunda çok daha etkili bir şekilde kullanılabileceği fikrini ortaya atmıştır.Tabi o zamanlar bu fikrin adı, Nano teknoloji değildi.R.Feynman, küçük boyutlarda yerçekimi gibi kanunlarının öneminin azalacağına, Van der Waals gibi mikro düzeydeki zayıf kuvvetleri çok daha büyük önem kazanacağını belirtmişti.
Feynman'ın çığır açan bu konuşmasında, 2 tane problem duyurdu.Problemi çözene, o zamanlar için büyük sayılabilecek 1000 $ lık bir ödül vereceğini açıkladı.Yalnız Feynman, bu konuda biraz şaşkınlığa uğradı.Problem, 1960 larda hemen çözüldü.William adındaki bir İngiliz elektrik mühendisi, kenar uzunluğu 0.3 mm olan ve 13 parçadan oluşan küp şeklinde bir motor üreterek ünlü fizikçi Feynman'ı bir hayli şaşırtmıştı.Willia bu ödülü kazandı fakat hala Nano teknoloji açısından pek bir şey geliştirilmiş sayılmazdı.
Feynman'ın sunduğu bir diğer problem ise, bir çivinin tepesine, "Encyclopedia Britannica" yı yazabilmeyi esas alıyordu.Bu problem, o yıllarda Feynman'ın diğer problemi gibi hemen çözülemedi ta ki 1985 de Stanford Üniversitesi mezunu Tom Newman tarafından ele alınana dek.Newman, çivinin tepesine, elektron demeti ile Charles Dickens'ın "İki Şehrin Hikayesi" adlı eserini yazdı ve ikinci 1000 $ lık ödülü kazandı.
Günümüzde halen nano teknoloji ile ilgili çalışma yapmış insanlara "Feynman Ödülü" verilmektedir.
Nano teknoloji terimi ise ilk olarak Norio Taniguchi tarafından "Temel Nano-Teknoloji Konseptleri" adlı makalesinde dile getirilmiştir.Taniguchi, nano teknolojiyi "Atom atom ya da molekül molekül ayırma, birleştirme, bozma sürecine nano teknoloji denir" şeklinde açıklamıştır.
